Alkalmazás

A félvezetőgyártó ipart az Egyesült Államok (FMS) szervezete "rendkívül magas kockázatú" iparágnak minősítette, mivel a folyamat során erősen mérgező, korrozív és gyúlékony gázokat, folyadékokat, valamint nagy mennyiségű gyúlékony műanyagot használnak. , valamint a zárt munkakörnyezet és a gázszivattyú rendszer pormentes helyiségekben. A félvezető ostyaöntödék gázfelhasználójaként minden alkalmazottnak ismernie kell a különféle veszélyes gázok biztonsági adatait használat előtt, és tudnia kell, hogyan kell kezelni a vészhelyzeti eljárásokat gázszivárgás esetén.

A félvezetőipar gyártóhelyiségeiben nagyszámú ultrafinom gázvezeték található, amelyek beszerelése után szigorú tesztelésnek kell alávetni, mielőtt normál használatba kerülhetnek. Az ultrafinom gázvezetékek öt alapvető elemzési tesztje a következő: nyomás/ammónia szivárgás/portartalom/nedvesség és oxigénelemzés kimutatása. Csak akkor helyezhető üzembe a gyár, ha mind az öt teszt megfelel a szabványoknak, ellenkező esetben nagy biztonsági és gazdasági kockázatok merülhetnek fel.

A „Speciális gázrendszer-mérnöki specifikáció” GB50646-2011 és „Műszaki feltételek és vizsgálati módszerek mérgezőgáz-érzékelő és riasztóberendezésekhez” HG23006 hatályos nemzeti szabvány vonatkozó rendelkezései szerint, valamint a gázérzékelő eszközök gyors reagálási követelményeivel kombinálva. félvezetőgyárakban használatos, az észlelési és riasztási válaszidő megadva. Mérgezőgáz-érzékelők és -rendszerek felszerelésének megkövetelése a kipufogónyílásokon vagy a környezeti pontokon. Ha bármilyen mérgező gáz szivárog, azt a gázérzékelő rendszer észleli. Ez a vezérlőrendszer a gázszivárgás emberi egészségre gyakorolt károsodásának mértéke alapján határozza meg a teljes gázszállító rendszer megfelelő reteszelési műveleteit. Súlyos esetekben az összes felfelé irányuló gázforrást sürgősen le kell zárni, a központi vezérlőtermet és a helyszíni riasztórendszert működtetni fogják, sőt akár a teljes gyár automatikus hangszóró rendszerét is meghajthatja, hogy azonnali evakuálást értesítsenek, és az illetékes személyzetnek gyorsan meg kell haladnia. evakuálják a riasztó területet. Ezért mindaddig, amíg a mérnöki és műszaki személyzet szigorúan betartja a megállapított szabványos működési eljárásokat, ezek a biztonsági berendezések biztosítják, hogy a személyzetnek ne legyenek biztonsági aggályai.

Fő gázérzékelés a félvezetőiparban

A szén-monoxid (CO), az ammónia (NH3), az oxigén (O2), a hidrogén-klorid (HCl), a klór (Cl2), a hidrogén-fluorid (HF), a foszfin (PH3) és a hidrogén (H2) mérgező, káros, gyúlékony, és robbanásveszélyes gázérzékelők. Professzionális szintű érzékelő termékek, amelyeket a félvezetőgyártó ipar mérgezőgáz-felügyeleti alkalmazásaihoz terveztek. Az érzékelő hosszú élettartamú, és hosszú ideig stabilan és folyamatosan monitorozható, ami nagymértékben csökkentheti a félvezető-gyártó iparban a mérgező gázok monitorozásának költségeit, nagy léptékű telepítést és alkalmazást tesz lehetővé, valamint praktikus és megvalósítható biztonsági gyártást biztosít. felügyeleti megoldás a félvezető-gyártó iparban a mérgező gázok monitorozására.

A félvezető- és elektronikai gyárakban elterjedt veszélyes gázok típusai

Gázérzékelő és felügyeleti rendszer félvezető elektronikai gyárépületekhez

A félvezető- és elektronikai gyárak feldolgozása során napról napra növekszik a rendkívül veszélyes anyagok, különösen az éghető gázok, mérgező gázok és egyéb gázok felhasználása. Időnként előfordulnak elkerülhetetlen gázszivárgási események, amelyek viszont potenciális veszélyt jelentenek a gyárakra, azok alkalmazottaira, a közeli lakosokra és a környezetre. A globális égés, robbanás, fulladás és gázszivárgás okozta balesetek folyamatosan emlékeztetik az embereket a probléma létezésére. Gázészlelő és -figyelő rendszerek jelentek meg, amelyek célja a korai és időben történő gázszivárgás észlelése és figyelmeztetése, segítve az embereket, hogy több idejük maradjon a megelőzésre és a javító intézkedések megtételére.

Jelenleg több mint 110 féle speciális gázt alkalmaznak a félvezetőiparban, ezek közül 20-30 általánosan használt, ami a nyersanyagigény 14%-át teszi ki.

Gyakori gázérzékelési alkalmazások a félvezetőiparban:

• Tisztaság fenntartása: nitrogén tömítés és fújás (Purge)
• Szilícium lapka gyártása: O2, HCL, H2, Ar
• Oxidáció: O2, DCE
• Dopping: PH3, AsH3, BCl3
• Mikrografika: KrF, ArF, F2
• Maratás: Cl2, SF6, NF3, CF4, HBr, BCl3
• Vékony filmek: Ar (fizikai gőzleválasztásos PVD), SiH4, N2O, NH3, WF6 (kémiai gőzleválasztásos CVD)

A SIGAS gázkoncentráció számszerűsítő és szabályozó berendezéseket és egyablakos megoldást biztosít a félvezetőipar számára, valamint vezérlőberendezéseket mérgező és káros gázokhoz, mint például szén-monoxid CO, ammónia NH3, oxigén O2, hidrogén-klorid HCl, klór Cl2, hidrogén-fluorid HF. , foszfin PH3 és hidrogén H2, például érzékelők, riasztók és jeladók, a félvezetők előállítási folyamatának védelmére.